Probenpräparation für die Rasterelektronenmikroskopie umfasst Schritte zur Erzeugung einer artefaktarmen, elektronenmikroskopisch zugänglichen Oberfläche. Dazu zählen Schneiden, Einbetten, Schleifen, Polieren, Ätzen, Frakturieren sowie ggf. Leitfähigkeitsbeschichtung (Au, C) oder Ionenstrahlpräparation. Ziel ist die Erhaltung der Mikrostruktur, Minimierung von Aufladungs- und Strahlenschäden und die Optimierung von Kontrast für topografische, chemische oder kristallographische Analysen.