Probenpräparation für Rasterelektronenmikroskopie umfasst Trennen, Einbetten, Schleifen, Polieren und gegebenenfalls chemische Ätzung oder Leitfähigkeitsbeschichtung. Ziel ist eine repräsentative, artefaktfreie Oberfläche mit geeigneter Geometrie und elektrischer Leitfähigkeit zur hochauflösenden Bildgebung und EDX-Analyse. Prozesskontrolle minimiert mechanische Verformungen und Kontamination.