EDX ist eine im Elektronenmikroskop integrierte Röntgenspektroskopie zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse. Durch Elektronenanregung emittierte charakteristische Röntgenlinien erlauben die Bestimmung lokaler chemischer Zusammensetzungen mit mikroskaliger Auflösung. In der Werkstoffwissenschaft wird EDX zur Phasenidentifikation, Analyse von Segregationen, Grenzflächen und Ausscheidungen sowie zur Korrelation von Mikrostruktur und chemischer Heterogenität eingesetzt.