Ätzung

Ätzung ist ein meist nasschemisches oder plasmaunterstütztes Verfahren zur kontrollierten Materialabtragung durch selektive chemische Reaktionen. In der Metallographie werden Korngrenzen und Phasen durch differenzielle Auflösung sichtbar gemacht. In der Mikro- und Nanofabrikation dient Ätzung zur Strukturierung von Oberflächen. Parameter wie Ätzkinetik, Selektivität, Anisotropie und Maskenstabilität bestimmen Auflösung und Strukturgüte.