Ätzung ist ein meist nasschemisches oder plasmaunterstütztes Verfahren zur kontrollierten Materialabtragung durch selektive chemische Reaktionen. In der Metallographie werden Korngrenzen und Phasen durch differenzielle Auflösung sichtbar gemacht. In der Mikro- und Nanofabrikation dient Ätzung zur Strukturierung von Oberflächen. Parameter wie Ätzkinetik, Selektivität, Anisotropie und Maskenstabilität bestimmen Auflösung und Strukturgüte.