Überschüssige Vakanzen beschreiben Defekte in einem Kristallgitter, bei denen mehr Leerstellen als im thermodynamischen Gleichgewicht vorhanden sind. Solche Ungleichgewichte können durch schnelle Abkühlprozesse oder mechanische Beanspruchung entstehen und beeinträchtigen die Materialeigenschaften, indem sie z.B. Diffusion oder mechanische Festigkeit modifizieren.