Dünnschichtstapel bestehen aus mehreren, meist mikroskopisch dünnen Schichten, die unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen. Sie finden Anwendung in Bereichen wie Optik, Elektronik und Tribologie, wobei der Fokus auf der Untersuchung von Grenzflächen, Interdiffusion und den damit verbundenen wechselwirkungsbedingten Effekten liegt.