Gasdiffusionsbarrieren sind dünne Schichten, die den Durchtritt von Gasen in Werkstoffen verhindern. Sie minimieren ungewollte chemische Reaktionen und schützen empfindliche Materialien vor Oxidation und Korrosion. Diese Barrieren sind in mikroelektronischen Anwendungen sowie Hochtemperaturprozessen von Bedeutung, wobei die Materialauswahl entscheidend für die Leistungsfähigkeit ist.