Neben den traditionellen Anwendungen von Refraktärmetallen, z. B. beim Hochtemperaturofenbau und in der Beleuchtungs- oder Glasindustrie, gehören heute großformatige Bleche zu den wichtigsten Produkten aus Molybdän. Diese werden häufig als Targets beim Sputtern von Molybdänschichten in Dünnschichttransistor-Flüssigkristallbildschirmen eingesetzt. Für das Warmwalzen des gesinterten Vormaterials ist die Kontrolle über das Erholungs- und Rekristallisationsverhalten von besonderer Bedeutung. Molybdän tendiert während der Warmumformung zu einem sehr erholungskontrollierten Verhalten, bei dem sich Versetzungen sofort in Subzellgrenzen anordnen. Diese ausgeprägten Erholungsprozesse scheinen einen großen Anteil der gespeicherten Verformungsenergie zu verbrauchen, der dann für die eigentliche Rekristalliation nicht mehr zur Verfügung steht. Andererseits bilden sich durch die Erholung scheinbar die zukünftigen Rekristallisationskeime. Zwecks einer umfassenden Charakterisierung dieser mikrostrukturellen Prozesse erscheint die Elektronenmikroskopie die geeignetste Methode zu sein. Ziel dieser Untersuchung ist eine Evaluierung der Aussagekraft des Electron-Channeling-Contrast-Imaging, der Rückstreuelektronenbeugung und der Transmissionselektronenmikroskopie hinsichtlich der Erholungs- und Rekristallisationsvorgänge in Molybdän. Des Weiteren werden geeignete Verfahren der Probenpräparation für die Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie beschrieben.