Dünnfilme, die einen Formgedächtniseffekt besitzen, wobei sie nach thermischer oder mechanischer Anregung ihre vordefinierte Geometrie rekonstruieren. Ihre Untersuchung in der Werkstoffwissenschaft zielt auf Anwendungen in Mikroaktuatoren, Sensoren und adaptiven Systemen ab, bei denen schnelle und präzise Formänderungen erforderlich sind.