Tiefenschärfe beschreibt den Bereich, in dem ein optisches System, beispielsweise in der Oberflächenanalyse, scharf abbildet. Dieser Parameter ist entscheidend für die Erfassung von Mikrostrukturen, da er die Bildqualität und Detailgenauigkeit bei der Charakterisierung von Werkstoffen maßgeblich beeinflusst.