Trockenchemisches Ätzen ist ein Verfahren der Materialabtragung, bei dem gasförmige oder feste Chemikalien genutzt werden, um präzise Strukturen in Mikrosystemen zu erzeugen. Diese Technik vermeidet Flüssigkeiten und findet in der Mikro- und Nanofabrikation Anwendung, wo sie zu hoher Auflösung und sauber definierten Kanten führt.