Die Ionenstrahlätzung ist ein physikalischer Ätzprozess, bei dem ionisierte Partikel gezielt Material von Oberflächen abtragen. Diese präzise Technik findet Anwendung in der Herstellung mikroelektronischer Bauteile und ermöglicht ein kontrolliertes Entfernen von Schichten ohne den Einsatz chemischer Substanzen.