Hochauflösende Laserlithographie

Mithilfe fokussierter Laserstrahlen werden Materialien auf Mikro- oder Nanometerskala strukturiert. Das Verfahren ermöglicht die direkte Erzeugung komplexer 3D-Strukturen in verschiedenen Werkstoffen und findet Anwendung in der Elektronik, Photonik und Nanofabrikation.

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