Die Lithographie ist ein grundlegendes Verfahren in der Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, das zur Herstellung von strukturierten Oberflächen und Schichtsystemen dient. Ursprünglich aus dem Bereich des Drucks stammend, hat sich die Lithographie zu einer Schlüsseltechnologie in der Mikro- und Nanotechnologie entwickelt.

Ein zentrales Verfahren der Lithographie ist die Photolithographie. Dabei werden lichtempfindliche Materialien, sogenannte Photoresisten, durch Bestrahlung mit ultraviolettem Licht strukturiert. Dieser Prozess ermöglicht die Herstellung feiner Strukturen mit Dimensionen im Nanometerbereich, was insbesondere in der Halbleiterindustrie von großer Bedeutung ist.

Ebenfalls relevant ist die Elektronenstrahllithografie, die Elektronenstrahlen zur Strukturierung nutzt. Diese Methode bietet eine sehr hohe Auflösung, ist jedoch zeitaufwendig und teuer. Der Einsatz findet sich oft in der Forschung und bei der Herstellung spezieller Bauteile in kleinen Stückzahlen.

Die Interferenzlithografie nutzt das Prinzip der Lichtinterferenz, um periodische Strukturen zu erzeugen. Diese Technik ist besonders effizient für die Herstellung großflächiger Muster mit hoher Präzision.

Ein weiteres interessantes Verfahren ist die thermische Rastersondenlithografie. Hierbei wird eine beheizte Spitze verwendet, um das Material direkt zu strukturieren. Diese Methode erlaubt eine kontrollierte und hochpräzise Bearbeitung auf der Nanoskala.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Lithographie eine extrem vielseitige Technologie ist, die vielfältige Anwendungen in der modernen Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ermöglicht. Sie bildet die Grundlage für die Herstellung moderner elektronischer Bauteile, Sensoren und anderer nanostrukturierter Materialien.