Skalierbare Lithographie umfasst Verfahren zur Herstellung feiner Strukturen in hoher Stückzahl, wobei Mikro- bis Nanostrukturen gezielt erzeugt werden. Diese Techniken sind zentral für die Massenproduktion moderner Elektronik und integrierter Schaltungen, indem sie Präzision und Durchsatz vereinen.