Fotolithographie-Fertigung nutzt lichtbasierte Verfahren, um präzise mikro- und nanostrukturierte Muster in Werkstoffen zu erzeugen. Durch kontrollierte Belichtungs- und Ätzprozesse werden komplexe Strukturen realisiert, die in der Halbleitertechnik und Mikrosystemtechnik unabdingbar sind.