Soft-Lithographie umfasst Techniken, bei denen flexible, elastische Stempel zur Mikro- und Nanofabrikation eingesetzt werden. Diese Methoden ermöglichen kostengünstige, kontaktfreie Strukturierung feiner Muster und sind in der Herstellung von elektronischen Bauelementen, biotechnologischen Geräten und funktionellen Materialien weit verbreitet.