Das Heißfilament-CVD-Verfahren ist ein chemischer Dampfabscheidungsprozess, bei dem ein erhitztes Filament als Aktivator für die Zersetzung von Gasen dient. Diese Methode ermöglicht die Herstellung dünner, qualitativ hochwertiger Schichten und wird unter anderem zur Beschichtung von Werkstoffen eingesetzt.