GISAXS Charakterisierung (Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering) ist eine leistungsfähige Methode zur Analyse von nanostrukturierten Oberflächen. Sie ermittelt Informationen über Größe, Form und Anordnung von Nanostrukturen und ergänzt so andere Analysetechniken in der Materialforschung.