Interferenzmikroskopie nutzt das Phänomen der Lichtinterferenz, um Oberflächenstrukturen und -fehler hochauflösend darzustellen. Durch die Kombination von optischer Präzision und quantitativer Analyse werden detaillierte Einsichten in die Topographie und eventuelle mikroskopische Deformationen von Werkstoffen gewonnen.