ETV/ICP-MS steht für Elektrothermische Verdampfung gekoppelt mit induktiv gekoppelter Plasma-Massenspektrometrie. Dieses Verfahren ermöglicht die präzise Spurenanalyse von Elementen in Werkstoffen, wobei minimale Probenmengen benötigt werden. Es ist ein essenzielles Instrument zur quantitativen Bestimmung in der Materialcharakterisierung.