Elektronenstrahl-Mikroanalyse ist eine hochpräzise Methode zur Bestimmung der Elementzusammensetzung auf mikroskopischer Ebene. Sie nutzt fokussierte Elektronenstrahlen, um sekundäre Signale zu erzeugen, die quantitativ Aufschluss über Materialstrukturen und mögliche Defekte geben – ein wichtiges Werkzeug in der Werkstoffcharakterisierung.