Das Vapour-Solid-Verfahren ist eine Synthesemethode, bei der gasförmige Reaktanten direkt in einen festen Zustand überführt werden. Es findet Anwendung bei der Herstellung von dünnen Filmen und nanostrukturierten Materialien, was insbesondere in der Halbleiter- und Photovoltaikforschung von Bedeutung ist.