Ein Sensorarray ist eine räumlich organisierte Anordnung mehrerer Sensoren, oft mit unterschiedlichen Sensitivitäten oder Selektivitäten, zur parallelen Erfassung physikalischer, chemischer oder mechanischer Größen. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht es ortsaufgelöste Messungen von Spannung, Temperatur, Dehnung oder Korrosion. Materialaspekte umfassen Dünnfilm- und Nanomaterialintegration, Kreuzempfindlichkeit, Alterungsprozesse und Zuverlässigkeit unter Betriebsbedingungen.