Hochauflösende Strukturierung bezieht sich auf Verfahren zur präzisen Definition von Oberflächenmustern im Nano- bis Mikrometerbereich. Durch fortschrittliche Lithographie- und Ätztechniken können Werkstoffoberflächen mit hoher Detailtreue modifiziert werden, was in Elektronik, Photonik und Sensorik Anwendung findet.