Oberflächenakustik-Wellensensoren nutzen an der Festkörperoberfläche propagierende elastische Wellen, die durch dünne Funktionsschichten, Adsorption oder Temperaturänderungen in Frequenz und Phasengeschwindigkeit beeinflusst werden. In der Werkstoffwissenschaft dienen sie zur in-situ-Charakterisierung von Schichtdicken, mechanischen und piezoelektrischen Eigenschaften sowie zur Detektion von Gasen, Biomolekülen oder Korrosionsprodukten mittels empfindlicher Oberflächenmodifikation.