Plasma in der Werkstoffforschung und -technik
Behandlungen von Werkstoffen
Oberflächenbehandlung
Oberflächenmodifikation von Werkstoffen
VUV- und Plasmabehandlung

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Vortrag
12.03.2026
Junghans, F. (V)¹; Gruenzner, S.²; Ihle, M.³
Verbund 2026

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