Elektronoptische Bildgebung ist das vielversprechendste Monitoringverfahren im Selektiven Elektronenstrahlschmelzen [1]. In einem zusätzlichen Prozessschritt wird die Qualität der aktuell geschmolzenen Schicht beurteilt, indem die Baufläche mit fokussiertem Elektronenstrahl abgerastert wird. Rückgestreute Elektronen erzeugen an geeigneten Detektoren ein Spannungssignal, welches durch Kenntnis des Ort-Zeit Verhaltens des Elektronenstrahls in Bilder gemappt wird. Einteilige Detektoren ermöglichen bereits so Aussagen zu Porosität [1] oder eine beschleunigte Prozessentwicklung [2].

Mehrteilige Detektoren erlauben nun die aktuell geschmolzenen Schmelzflächen aus verschiedenen Blickrichtungen aufzunehmen. Wie in der Rasterelektronenmikroskopie [3], hat das Rückstreuelektronensignal einen klaren Bezug zum Oberflächengradienten der Schmelzfläche. Mittels geeigneter Kalibrier- und Integrationsverfahren kann die Topographie von einzelnen Schmelzflächen quantitativ vermessen werden. Neben Poren können so lokale Aufwölbungen zuverlässig identifiziert werden.

Referenzen
[1] C. Arnold, Rapid Prototyping Journal, 2018, Vol. 24, pp. 1296-1304
[2] C. Pobel, Materials Letters, 2019, Vol. 249, pp. 70-72
[3] J. Lebiedzik, Scanning, 1979, Vol. 2, pp. 230 - 237