Grenzflächendiffusion bezeichnet den atomaren Transport entlang Phasengrenzen, Korngrenzen oder Schichtgrenzen, der meist deutlich schneller als Volumendiffusion ist. Sie spielt eine zentrale Rolle bei Sinterprozessen, Oxidations- und Korrosionsvorgängen, Kriechen sowie Phasenumwandlungen in Beschichtungen und Verbundwerkstoffen. Die Diffusionskoeffizienten hängen von Grenzflächenstruktur, Fehlordnungen, Segregation und Temperatur ab und werden in Modellen wie Coble-Kriechen explizit berücksichtigt.