Die Abscheidungsauflösung beschreibt die Fähigkeit von Beschichtungsverfahren, feine Strukturen und Schichten mit hoher Präzision zu erzeugen. Dies ist in der Werkstofftechnik von zentraler Bedeutung, da eine hohe Auflösung in der Mikro- und Nanofabrikation essenziell für die Funktionalität und Leistungsfähigkeit moderner elektronischer und optischer Bauteile ist.