Dünnfilm-Elektroden sind elektrisch leitfähige Schichten mit typischer Dicke im nm–µm-Bereich, abgeschieden auf Substrate durch Sputtern, CVD, ALD, Galvanik oder Druckverfahren. Sie werden in Batterien, Mikroaktoren, Sensoren und Mikroelektronik eingesetzt. Mikrostruktur, Zusammensetzung, Spannungszustand und Grenzflächen bestimmen Leitfähigkeit, elektrochemische Aktivität, Zyklierbarkeit und mechanische Stabilität unter zyklischer Belastung.