Dünnfilmwachstum bezeichnet die Abscheidung und strukturelle Entwicklung von Schichten mit Dicken von wenigen Atomlagen bis einigen Mikrometern auf Substraten. Mechanismen wie Keimbildung, Insel- und Schichtwachstum, Diffusion und Spannungsaufbau bestimmen Morphologie, Textur, Defektdichte und damit elektrische, optische oder mechanische Eigenschaften. Untersucht werden physikalische und chemische Abscheidemethoden, Grenzflächenprozesse sowie Wachstumsmodelle.