AlN-Beschichtungen bestehen aus Aluminium-Nitrid und werden wegen ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit sowie Isolierungseigenschaften eingesetzt. Diese Beschichtungen verbessern die Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität von Werkstoffen, wobei präzise Depositions- und Nachbehandlungsverfahren essenziell sind.