Das Verhalten der Rauigkeit bei kavitiertem Cu, Ni, CuZn30 und CuAl7 wurde durch konfokale Laser-Raster-Mikroskopie (Confocal Laser Scanning Microscopy: CLSM) untersucht. Die Werkstoffe wurden in lösungsgeglühten und gewalzten Zuständen vermessen. Die Untersuchung zeigte, dass obwohl die Inkubationsphase durch Walzen verlängert wird, die Entwicklung des Pa-Parameters in der Inkubationsphase eine hohe Ähnlichkeit bei lösungsgeglühten Materialien und gewalzten Proben aufweist. Eine Ausnahme wurde im Fall bei lösungsgeglühtem CuAl7 festgestellt, bei dem die Pa-Werte erheblich höher als die beim gewalzten Material waren, da eine starke Änderung des Gefüges durch die Wärmebehandlung stattfand.