Tastschnittgeräte, wie sie üblicherweise zur Rauheitsmessung verwendet werden, sind zur Oberflächenanalyse von Mikrobauteilen nur sehr eingeschränkt einsetzbar. Die Verwendung der konfokalen Weißlichtmikroskopie als berührungsloses optisches Messverfahren zur Topographievermessung von Mikrobauteilen wird vorgestellt. Da die herkömmlichen Rauheitsnormen bei Mikrobauteilen aufgrund der kurzen verfügbaren Messstrecken an die Grenze ihrer Anwendbarkeit stoßen, wird ein neuer Rauheitsparameter für Mikrobauteile vorgeschlagen.

Darüber hinaus wird die Vermessung von Formelementen an Mikrobauteilen mittels konfokaler Weißlichtmikroskopie vorgestellt.