Ein Raster-Transmissionselektronenmikroskop kombiniert die Strahlführung des Rasterelektronenmikroskops mit der Durchstrahlungsgeometrie des TEM. Ein fokussierter Elektronenfeinstrahl wird rasterförmig über dünne Proben geführt, Detektoren erfassen transmittierte und gestreute Elektronen. So entstehen hochauflösende Kontrastmechanismen für Z‑Kontrast, Beugung und spektroskopische Analysen, geeignet für Kristallstruktur‑, Defekt- und chemische Mappinguntersuchungen.