Hochauflösende ICP-MS nutzt Sektorfeld- oder Multikollektorgeometrien mit variabler Massenauflösung, um spektrale Interferenzen (Molekül-, Polyatomionen) von Analytsignalen zu trennen. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht dies präzise Bestimmung kritischer Spurenelemente und Isotopenverhältnisse in hochreinen Metallen, Halbleitern und Funktionswerkstoffen. Erhöhte Massenauflösung geht mit reduzierter Sensitivität und komplexerer Instrumentierung einher.