Dampf-Fest-Synthese beschreibt die Bildung fester Phasen aus der Gasphase auf einem Substrat ohne flüssige Zwischenphase. Typisch sind CVD-ähnliche Prozesse zur Herstellung von Nanodrähten, Nanoröhren oder dünnen Schichten, bei denen Keimbildung und anisotropes Wachstum durch Übersättigung, Temperaturgradienten und Katalysatorpartikel gesteuert werden. Die Methode ermöglicht hochreine, einkristalline oder texturierte Funktionswerkstoffe.