ICP-Massenspektrometrie koppelt ein induktiv gekoppeltes Plasma als Ionisationsquelle mit einem Massenspektrometer zur quantitativen Bestimmung von Spur- und Ultraspurenelementen. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie die hochsensitive Analyse von Legierungsbestandteilen, Verunreinigungen und Diffusionsprofilen. Isotopenauflösung, Mehrfachelementanalyse und niedrige Nachweisgrenzen sind zentral für Qualitätskontrolle, Prozessüberwachung und Schadensanalyse.