Umfasst die systematische Bestimmung von Aufbau, Mikrostruktur, Zusammensetzung und Eigenschaften technischer Schichten. Eingeschlossen sind Schichtdicke, Haftfestigkeit, Härte, Restspannungen, Porosität, Defekte, chemische Gradienten und Funktionsparameter wie Barriere‑, Verschleiß‑ oder Korrosionsverhalten mittels Methoden wie XRD, XPS, SEM/TEM, Nanoindentierung oder elektrochemischer Analysen.