Beschreibt die Anwendung der induktiv gekoppelten Plasma-Massenspektrometrie zur ultra-spurigen Elementanalyse. In einem Argonplasma werden Atome ionisiert und anschließend massenselektiv detektiert. Die Technik erlaubt Mehrfachelementbestimmung mit sehr niedrigen Nachweisgrenzen, breitem Dynamikbereich und Isotopenanalyse. In der Werkstoffwissenschaft dient sie der Reinheitsbestimmung, Legierungskontrolle, Rückstands- und Kontaminationsanalytik sowie der Charakterisierung von Nanopartikeln.