ICP-MS Analyse kombiniert induktiv gekoppeltes Plasma zur Atomisierung und Ionisation mit Massenspektrometrie zur hochsensitiven Spuren- und Ultraspurenanalyse. In der Werkstoffwissenschaft dient sie zur quantitativen Bestimmung von Legierungsbestandteilen, Verunreinigungen und Segregationen. Sie ermöglicht isotopenaufgelöste Analysen, unterstützt Reinheitskontrolle, Diffusionsstudien und die Charakterisierung von Korrosions- und Oxidationsprodukten.