Diese Methode nutzt ein induktiv gekoppelte Plasma- und Massenspektrometer, um Elementkonzentrationen selbst auf Spurenebene in komplexen Materialmatrices zu bestimmen. Durch die hohe Empfindlichkeit und Genauigkeit eignet sie sich zur Analyse von Werkstoffen, Legierungen und Umweltproben, wobei auch isotopenpezifische Informationen gewonnen werden können.