ICP‑MS ist eine massenspektrometrische Analysetechnik, bei der ein induktiv gekoppeltes Plasma zur Ionisation von Elementen eingesetzt wird. In der Werkstoffwissenschaft erlaubt sie Mehrspurenanalyse bis in den ppb‑Bereich, Isotopenverhältnismessungen und Reinheitsprüfung von Metallen, Legierungen und Pulvern. Matrixeffekte, Spektrenüberlagerungen und Probenaufbereitung (Aufschluss, Verdünnung) sind kritisch für Genauigkeit und Nachweisgrenzen.