Analytisches Verfahren zur präzisen Bestimmung von Isotopenverhältnissen, meist mittels Massenspektrometrie oder laserbasierter Techniken. In der Werkstoffwissenschaft dient es der Herkunftsbestimmung, Diffusions- und Reaktionspfad-Analyse, Altersdatierung sowie der Aufklärung von Korrosions- und Oxidationsmechanismen. Hohe Genauigkeit erfordert sorgfältige Probenaufbereitung, Massenkalibrierung, Korrektur von Isotopenfraktionierung und Unterdrückung isobarer Interferenzen.