Hochauflösende Massenspektrometrie ermöglicht präzise Bestimmung von Masse‑zu‑Ladung‑Verhältnissen mit hoher Massenauflösung und -genauigkeit. In der Werkstoffwissenschaft wird sie zur Spurenelement‑ und Isotopenanalyse, Aufklärung von Polymer‑ und Additivstrukturen, Detektion von Verunreinigungen, Korrosionsprodukten und Alterungsmarkern eingesetzt. Kopplung mit Chromatographie oder Lasertechniken ermöglicht ortsaufgelöste und zeitaufgelöste Analysen.