Energie-dispersive Röntgenspektroskopie ist eine röntgenanalytische Methode, bei der charakteristische Röntgenquanten, die durch Elektronen- oder Photonenanregung emittiert werden, mittels eines Halbleiterdetektors energieaufgelöst erfasst werden. Sie ermöglicht qualitative und semi-quantitative Elementanalyse sowie Elementverteilungsabbildungen in REM und TEM und ist essenziell für Phasenidentifikation, Reinheitsprüfungen und Diffusions- bzw. Segregationsstudien.