FIB/SEM kombiniert fokussierten Ionenstrahl (Focused Ion Beam) und Rasterelektronenmikroskopie in einem Instrument. Der Ionenstrahl ermöglicht lokales Schneiden, Dünnen und 3D-Tomographie, während das SEM hochauflösende Bildgebung und Analytik bietet. In der Werkstoffwissenschaft wird FIB/SEM für Querschnittspräparation, Fehleranalyse, Mikrostrukturrekonstruktion, Lamellenherstellung für TEM und site-spezifische Nanostrukturierung eingesetzt.