Rasterelektronenmikroskop ist ein Elektronenmikroskop, bei dem ein fokussierter Elektronenstrahl zeilenweise über die Probenoberfläche geführt wird. Detektierte Sekundär- und Rückstreuelektronen liefern hochaufgelöste Topographie- und Materialkontrastbilder. Mit Zusatzeinrichtungen wie EDX und EBSD ermöglicht es chemische Analysen und Kristallstrukturcharakterisierung bis in den Nanometerbereich.