Rasterelektronenmikroskopie

Rasterelektronenmikroskopie ist ein abbildendes Verfahren, bei dem ein fokussierter Elektronenstrahl eine Probenoberfläche rastert und Sekundär-, Rückstreu- oder charakteristische Röntgenstrahlung detektiert werden. Sie ermöglicht hochaufgelöste Topographie-, Phasen- und Elementanalysen von Werkstoffen. Erweiterungen wie EBSD oder EDS liefern Kristallorientierungen, Phasenverteilungen und chemische Zusammensetzungen im Mikro- bis Nanometerbereich.