Ist eine Elektronenmikroskopietechnik, bei der ein fokussierter Elektronenstrahl zeilenweise über die Probenoberfläche geführt wird. Die Wechselwirkung erzeugt Signale (SE, BSE, Röntgenstrahlung), aus denen Topographie, Zusammensetzung und Mikrostruktur mit hoher Auflösung gewonnen werden. Erweiterungen wie EBSD und EDX ermöglichen Textur- und Phasenanalyse sowie ortsaufgelöste chemische Charakterisierung.