Rasterelektronenmikroskopie nutzt fokussierte Elektronenstrahlen, die die Probenoberfläche zeilenweise abtasten. Detektierte Sekundär- und Rückstreuelektronen liefern topografische und chemisch kontrastierte Bilder mit hoher Tiefenschärfe, während EDX- oder EBSD-Detektoren Elementverteilung und Kristallorientierungen erfassen. REM ist zentral für Mikrostrukturanalyse und Fehlerursachenforschung.
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